STUDIES OF THE LATTICE DAMAGE CAUSED BY ION IMPLANTATION INTO Al<sub>x</sub>Ga<sub>1-x</sub>AS/GaAs

中国化学快报 ›› 1994, Vol. 5 ›› Issue (08) : 707-710.

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STUDIES OF THE LATTICE DAMAGE CAUSED BY ION IMPLANTATION INTO Al_xGa_1-xAS/GaAs

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Received
1994-01-18
Issue Date
1994-08-20